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PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究
AlN晶体中的氧杂质会严重影响晶体性能。因此, 氧含量的控制一直是AlN晶体生长工艺中的热点和难点。为了减少AlN晶体中的氧杂质含......
期刊
AlN烧结
氧杂质
沉积行为
晶体生长
AlN sintering
oxygen impurity
deposition behavior
crystal gr
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